适用于:晶圆厂、研究所、高校等对IGBT、FRD、高压大电流测试、太阳能电池测试、二极管晶体管测试、背电极测试等。

样品吸盘可四自由度移动，方便扫描和对焦，隔振底座设计，利于精细测量。

HGPS200 探针台：

平面度高:精磨铁磁不锈钢台面

结构紧凑:整体设计

测试直观:三目体式显微镜

测试灵活:吸盘气孔独立控制

HGPT-PS200多功能隔振磁吸工作台：

底座可单独采购使用

方便自由搭建

各类探针测量实验系统或其他实验平台系统

手动精密隔振探针台采用隔振支架设计底座实现精细测量

使用隔离支架时，1微米探针针尖无抖动，清晰可见，普通刚性支架明显有抖动。