组 件

特     点

技术参数

探针台基座

采用蜂窝芯隔振面包板（铁磁不锈钢），隔振效果好，保证测试的稳定性。

 标配蜂窝芯隔振面包板（铁磁不锈钢）：HGPT-M345（300X450X50mm）；

探针调整机构

三维精密调整，标配为吸附于磁性光学平板上。探针可垂直或45度安装。

探针调整座：HGPS01A精度10um，X-Y-Z行程10mm（标配）；

探针：T05P30S（针尖直径30um）钨钢探针（标配）；

探针测试线：0.5米同轴电缆BNC接头（标配）；

真空吸附卡盘

高级不锈钢精磨加工，表面美观、平面度好。

进口真空泵，吸力大、静音效果好。

真空吸附系统：标配4英寸（6英寸可选配），平面度5um；

卡盘（样品）调整机构

调整行程大，精度高，配有锁紧机构。

XY行程：50mm，游标读数0.02mm；

Z轴行程：60mm，灵敏度0.01mm；

ΘZ:±45°手动粗调（需用内六角扳手将旋转锁紧机构松开）

CCD

1、200万像素,最高分辨率1600X1200,清晰度800TV线以上,30帧/秒   @1024X768；

2、4个十字线,可选十字线个数,颜色,线宽,可满屏显示,可移动到任意位置,可隐藏所有十字线；

3、中英文菜单，简洁明了,易于操作。

4、直接连接电脑显示器,实时的视频图像观看,图像清晰,稳定,无闪烁,在近距离长时间观看眼晴也不容易疲劳。

1、传感器类型：200万像素1/3英寸CMOS彩色；

2、有效像素：1600H*1200V;

3、帧率：15帧/秒@1600X1200,   30帧/秒@1024X768；

4、工作温度：0-60摄氏度；

5、供电方式：外接5V DC 允许10%偏差；工作电流：600mA；功率：3W。

显微系统

变倍过程全程清晰，无闪动，全程齐焦；

1、物镜连续变倍7X~45X   电子放大倍数可达230倍；

2、显微镜工作距离：38-95mm。

显示屏

19.5"

整机尺寸：520mm(L) X300mm (W)X 700mm (H)；

整机重量：27Kg。

选配：

真空吸附卡盘：6英寸；

CCD可选配带存储测量工业相机；

显微镜可选配双目体式显微镜；

可加装面包板支架，放于地面使用。