产品特点:

 X、Y轴:

导轨为交叉滚柱配合V形钢导轨，精度更高，承载较大，寿命长侧边驱动:测微头在平移台侧边放置，操作方便，节省空间采用弹簧复位，消除轴向间隙

台面和底座分布标准孔距的安装孔，方便安装和组合。

Z轴:

采用楔形结构，最小刻度和灵敏度提高一倍;

导轨为线性钢球配合精磨V形钢导轨，精度高，承载大;

测微头驱动，定量读数:

θXθY轴:

提供双轴倾斜调整;

测微头驱动，高品质碟形弹簧复位，稳定性好;

点线面结构设计，稳定，重复性好;

θZ轴:

精密轴系设计，精度高，稳定性好；

台面可以360°旋转调整，圆周360°刻划，方便读数；

可采用测微头进行一定范围的微调，弹簧复位，分辨率高，无空回；

上下部均有标准孔距的连接孔，方便与其他位移台连接，组成多维移动台。

产品特点:

 X、Y轴:

导轨为交叉滚柱配合V形钢导轨，精度更高，承载较大，寿命长侧边驱动:测微头在平移台侧边放置，操作方便，节省空间采用弹簧复位，消除轴向间隙

台面和底座分布标准孔距的安装孔，方便安装和组合。

Z轴:

采用楔形结构，最小刻度和灵敏度提高一倍;

导轨为线性钢球配合精磨V形钢导轨，精度高，承载大;

测微头驱动，定量读数:

θXθY轴:

提供双轴倾斜调整;

测微头驱动，高品质碟形弹簧复位，稳定性好;

点线面结构设计，稳定，重复性好;

θZ轴:

精密轴系设计，精度高，稳定性好；

台面可以360°旋转调整，圆周360°刻划，方便读数；

可采用测微头进行一定范围的微调，弹簧复位，分辨率高，无空回；

上下部均有标准孔距的连接孔，方便与其他位移台连接，组成多维移动台。

产品特点:

 X、Y轴:

导轨为交叉滚柱配合V形钢导轨，精度更高，承载较大，寿命长侧边驱动:测微头在平移台侧边放置，操作方便，节省空间采用弹簧复位，消除轴向间隙

台面和底座分布标准孔距的安装孔，方便安装和组合。

Z轴:

采用楔形结构，最小刻度和灵敏度提高一倍;

导轨为线性钢球配合精磨V形钢导轨，精度高，承载大;

测微头驱动，定量读数:

θXθY轴:

提供双轴倾斜调整;

测微头驱动，高品质碟形弹簧复位，稳定性好;

点线面结构设计，稳定，重复性好;

θZ轴:

精密轴系设计，精度高，稳定性好；

台面可以360°旋转调整，圆周360°刻划，方便读数；

可采用测微头进行一定范围的微调，弹簧复位，分辨率高，无空回；

上下部均有标准孔距的连接孔，方便与其他位移台连接，组成多维移动台。

适用于:晶圆厂、研究所、高校等对IGBT、FRD、高压大电流测试、太阳能电池测试、二极管晶体管测试、背电极测试等。

样品吸盘可四自由度移动，方便扫描和对焦，隔振底座设计，利于精细测量。

HGPS200 探针台：

平面度高:精磨铁磁不锈钢台面

结构紧凑:整体设计

测试直观:三目体式显微镜

测试灵活:吸盘气孔独立控制

HGPT-PS200多功能隔振磁吸工作台：

底座可单独采购使用

方便自由搭建

各类探针测量实验系统或其他实验平台系统

手动精密隔振探针台采用隔振支架设计底座实现精细测量

使用隔离支架时，1微米探针针尖无抖动，清晰可见，普通刚性支架明显有抖动。